円筒座標ロボットは様々な製品に活用できます。その導入事例を確認していきます。
半導体ウェーハの搬送
半導体ウェーハの製造工程では、微小なチリでさえも機能に悪影響を与えるため、搬送するロボットには高いクリーン度が求められます。
また半導体のコストは生産性に大きく依存するので、搬送スピードの高さも重要です。
円筒座標ロボットはシンプルな形状なので、高いクリーン度と搬送速度を両立でき、動作不良も生じにくいことから、多くの半導体メーカーで採用されています。
フラットパネルディスプレイの搬送
フラットパネルディスプレイは、極薄のガラス基板に加工を行い製造するため、繊細なハンドリングが求められます。
熱処理装置への出し入れなどを行うためストロークを長くする必要があり、また高いクリーン度や搬送速度も求められることから、半導体分野と同様に円筒座標ロボットが利用されています。
クリーン度の高さと搬送速度の速さはもとより、稼働範囲に対して装置サイズが小さいのも選ばれている理由です。
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